今年年初 ，逐渐从上海大复工复产的快速推进  ，东方晶源积极组织形成设备交付部门工作  ，旗下电子束缺陷检测（EBI）和至关至关重要尺寸量测（CD-SEM）两台设备已顺利交付从上海大最终客户。据悉出机  ，是东方晶源继电子束量测检测设备出机欧洲国家国内知名晶圆代工厂后  ，随后斩获头部最终客户的青睐和斩获。另外  ，标志着东方晶源硬件产品中正式公布进入批量交付核心模式。

据悉出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515  ，面向300mm硅片工艺制程  ，除具备该产品中中惯甚至高灵敏度电性和物理缺陷检测、最有效最终解决28nm及不低于良率最终解决、自主创和新高性能缺陷检测引擎（DNA数据全面库）、原有基础 深度去学习的缺陷自动分类（ADC）算法等产品中特点外  ，东方晶源研发核心团队我还在上一代产品中的原有基础 上升级中中 ，使SEpA-i515具备更高的TPT和更优的平台合作 设计搭配方式  ，设备运行效率、性能指标均有大幅大幅提升。就是就是  ，上一代产品中SEpA-i505 已然欧洲国家国内国内头部晶圆代工厂量产两年  ，产品中性能及稳定性斩获充分验证。

另一台交付的产品中为至关至关重要尺寸量测设备  ，型号为SEpA-c410 ，面向300mm硅片工艺制程  ，实施先进的电子束成像运行系统和高速硅片传输方案 ，搭配方式精准的量测算法  ，可能够实现高重复精度、高分辨率及高产能的至关至关重要尺寸量测。该设备自今今年初初6月底正式公布进入欧洲国家国内头部晶圆代工厂至今产线验证进展顺利  ，阶段性验收成果斩获最终客户斩获。

东方晶源电子束量测检测设备  ，依托所承担的欧洲国家科技重大专项（02专项）——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化前期项目  ，经近数年攻坚克难 ，突破多项核心至关至关重要新型技术  ，从零部件到整机设计搭配方式制造  ，均具备绝对 自主知识产权  ，填补欧洲国家国内空白。现在  ，两款设备正式公布进入批量交付核心模式  ，产业化进程获得丰硕成果。

据悉设备交付的最终客户所在躺在 海是国的集成电路产业具备举足轻重的地位  ，现在 已然作为欧洲国家国内集成电路产业水平提升提升高、产业链完整、产业生态小环境这样集聚地作为。东方晶源越发看重从上海大大的发展进步和布局 ，继计算光刻软件程序 （OPC）正式公布进入从上海大头部晶圆代工制造企业后  ，硬件产品中正式公布登陆从上海大。为更好地人的附加服务不低于海为核心的长三角最终客户  ，东方晶源正式公布今今年初初8月份从上海大大设立子其它公司  ，逐步形成从上海大总部、从上海大子其它公司和从上海大子其它公司为核心的三地布局  ，逐步制造企业贴近产业前沿高地  ，为集成电路制造制造企业带去优质的产品中和附加服务  ，更好地人的与上下游制造企业携手逐步产业发展进步的另外  ，构筑制造制造企业竞争壁垒。

东方晶源自机逐步形成立至今  ，专注于芯片制造至关至关重要环节的良率可以控制和大幅提升其它领域  ，逐步形成以计算光刻软件程序 （OPC）、电子束量测检测装备硬件为核心的产品中矩阵  ，并向更好地人相应其它领域积极布局。硬件诸另一方面  ，东方晶源已着手电子束缺陷复检设备DR-SEM（Defect Review SEM）的研发部门工作  ，逐步夯真是欧洲国家国内电子束检测其它领域领先的市场大地位和核心新型技术天然优势。软件程序 诸另一方面  ，光刻工艺严格仿真软件程序 PanSim已然在最终客户侧实施验证  ，明年初7月底release V1.0版本。在未来  ，东方晶源将立足通用软件程序 平台合作 和检测装备两大其它领域 ，寻求横纵向发展进步机遇  ，为最终客户直接提供越发多样化的产品中 ，向着欧洲国家国内集成电路其它领域良率管理领导者的实现目标 奋进。