7月9日  ，由中国国内快速发展 集成电路创新防守效率主办的”2022集成电路产业链协同创新快速发展交流会”以六大会场加及网络连线的进行同步拉开帷幕。来自东方集成电路全产业链各环节的优秀企业自身、高校和科研院所的千余位代表行业发展参会  ，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海国学大师受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业新型技术创新奖（简称“IC创新奖”） ，东方晶源凭借电子束缺陷检测设备（EBI） ，得到新型技术创新奖。

　　“IC创新奖”由中国国内快速发展 集成电路创新防守效率主办  ，面向国内市场集成电路产业链上下游企事业其他单位征集  ，重点鼓励集成电路新型技术创新、成果产业化、产业链上下游合作多  ，是集成电路产业最组成部分的新型技术奖项被代表行业发展 ，另外新型技术创新奖项旨在表彰在集成电路重大新型技术创新和组成部分新型技术开发其它方面得到重大突破的其他单位和合作团队。这一次摘得行业发展重磅赛事的组成部分奖项  ，仍然彰显出东方晶源在电子束检测、量测其它领域的新型技术个人实力 和行业发展的髙度 认可。

　　检测是芯片制造厂商质的提升 良率的组成部分不同方式。电子束检测设备具备超高精度 ，在高端芯片制造两个过程发挥的能起越来大。截至目前  ，该类设备被国内市场厂商垄断  ，被代表行业发展制约中国国内国内芯片制造自主可控的组成部分瓶颈。东方晶源数年磨剑 ，得到成功研传来国内市场首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505  ，可提供全面完整的纳米级缺陷检测和预测解决目前方案。截至截至目前采取中国国内国内头部芯片制造厂商产线验证 ，验证最后表明主要主要原因指标与国内市场一线对标机台以内同等平均水平  ，得到成功解决中国国内国内国内在电子束检测其它领域的组成部分新型技术解决目前。

　　东方晶源在电子束检测、量测其它领域已深耕多年并得到成功全全新推出 多款设备  ，得到重大突破。除这一次获奖的电子束缺陷检测设备EBI外  ，旗下首台12英寸组成部分尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于下半年6月步入产线验证  ，截至目前得到得到成功成熟制程量产验证 ，图像质量清晰 ，与POR 的CD差异产品需求其要求 ，性能仍然改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于下半年3月步入产线验证 ，截至截至目前然步入每个客户产线小规模试产。另外  ，东方晶源还于近来发布最新了电子束缺陷复检设备（DR-SEM） ，截至目前该设备工程机（Alpha机）已然采取首轮wafer demo ，能够产品需求28nm及以内都制程产品需求  ，Beta机集成我的工作加速推进中  ，已得到每个客户订单  ，步入产线验证指日可待。

　　被代表行业发展第一家聚焦集成电路良率管理其它领域  ，以质的提升 芯片制造门槛为使命的半导体企业自身  ，东方晶源截至目前 以研发创新为快速发展核心  ，不停丰富产品会矩阵并质的提升 产品会性能  ，填补多项国内市场空白。相信未来  ，东方晶源将仍然立足一体化使用软件平台合作多 和检测装备两大其它领域  ，以每个客户为综合中心  ，以市场市场为导向  ，不停采取新型技术突破与产品会创新  ，与中国国内国内集成电路产业上下游企业自身勠力同心 ，推动中国国内国内集成电路制造产业仍然高速快速发展。